$奥普光电(sz002338)$[图片]
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奥普光电承接国家科技部重点项目“超高分辨激光汤姆孙散射光谱仪”
项目主要研究目标是针对光刻机极紫外光源开发、核聚变能、等离子体薄膜沉积、等离子体表面改性、等离子体生物医学等领域的离子体精密测量诊断需求，突破高效率光源激励、高分辨率光谱仪研制和高抑制比光谱探测等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的超高分辨激光汤姆孙散射光谱