电子特种气体属于工业气体的重要分支，是电子工业生产中关键的基础和支撑性材料之一，其使用穿透半导体制造的整个过程。
电子特气是在半导体制造流程中所采用的高纯度特种气体，对纯度和杂质含量的严苛要求，占据晶圆制造成本的14%，具有较高的经济价值。
电子特气在光刻、刻蚀等多个环节发挥关键作用。
相较于一般工业气体技术，电子特气壁垒更高，深度提纯的难度也更大。
全球市场格局来看，目前全球电子特气市场被美国空