炬光为阿斯麦提供的光场匀化器，每件售价高达20余万(前几年光场匀化器在光刻应用产品单价分别为20.38万元/件—22.30万元/件)，凭借着在阿斯麦光刻机的成功供货，2020年炬光的光场匀化器进入台积电。此外也为中科院、上海微电子、美国科磊等行业知名半导体集成电路设备科研和生产机构提供相关产品。

炬光光场匀化器由全资子公司LIMO提供，负责激光光学业务的LIMO上半年收入6709.03万，负责泛