炬光科技全资子公司LIMO前年光刻机用光场匀化器收入已超2000万元，去年炬光光刻机用光场匀化器收入估计超3000万，完成收购瑞典SMO后，SMO也同样生产光刻机用光场匀化器，2者想加收入会更多，并且炬光的光刻机用光场匀化器还是光刻机核心元器件，前2秒年披露毛利率达67.3%！

对比海立股份近三年冷却系统年销售额50万左右，算起来去年炬光科技的光刻机用光场匀化器可能是海立的六七十倍！今年炬光加上