炬光的光刻机用光场匀化器具战略性以及垄断性，
国际上竞争对手欧美只有德国 Jenoptik公司，23年还是竞争对手的德国Suess MicroTec在2024年初被炬光收购。在国内更是没有竞争对手，上海微电子光刻机应该只能从炬光购买光场匀化器。
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