从长晶炉/外延炉/离子注入机/量测设备这四种SiC核心设备的国产化进程来看:
(1)SiC长晶炉:2023年国内的北方华创和晶升股份分别占据全球PVT长晶炉外购市场60%和10%的份额,此外晶盛机电的长晶炉也已达到国际领先的技术水平,但公司长晶炉仅供内部使用以实现6-8英寸SiC衬底的批量生产和销售。
(2)SiC外延炉:2023年欧洲的Aixtron与ASM/LPE合计占据62%的份额,国内的北