光学元件:茂莱光学，腾技科科，炬光科技，晶方科技，苏大维格

光学镜头:奥普光电，福光股份，波长光电

结构零部件:富创精密

光刻净化设备:美埃科技

光源:福晶科技

晶片小型化:惠伦晶体

透镜系统:赛微电子

显影涂胶设备:芯源微 盛美上海

光掩膜版:冠石科技

电路量测设备:精测电子

光学制版:京华激光

光学系统清洗:蓝英装备

成像光刻:芯微装钨合金产品:安泰科技

整机:张江高