先锋精科（ 688605 ）：公司是国内半导体刻蚀和薄膜沉积设备细分领域关键零部件的制造厂商，并重点聚焦于刻蚀设备和薄膜沉积设备等半导体核心设备；在刻蚀领域，公司主要提供以反应腔室、内衬为主的系列核心配套件；在薄膜沉积领域，公司主要提供加热器、匀气盘等核心零部件及配套产品。是国内半导体刻蚀和薄膜沉积设备细分领域关键零部件的精密制造专 家，尤其在行业公认的技术难度仅次于光刻设备的刻蚀设备领域，公司是