至纯科技主营业务涵盖系统集成及材料、设备业务两大板块，以下是大致的产品占比情况分析：

系统集成及材料业务

- 高纯工艺系统建设：是公司传统优势业务，占比较大，虽暂无确切公开的占比数据，但在整体营收中一直处于重要地位，为众多半导体制造企业提供关键的高纯工艺系统。
- 电子材料研发与生产：如光掩膜版等产品，随着半导体产业对材料需求的增长，该业务占比也在逐步提升，预估占营收的10%-20%左右