1. 光刻机掩膜版基材

石英股份生产的高纯度石英玻璃是光刻机掩膜版的核心基材。掩膜版作为光刻工艺中的图形转移母版，其基板需具备低热膨胀系数、高纯度等特性。公司通过技术突破，成为国内首家具备G8代大尺寸光掩膜板基材生产能力的企业，打破了国外垄断。例如，其产品可满足从G4到G8代掩膜版基材需求，直接应用于半导体光刻和显示面板制造领域。

2. 半导体光刻工艺配套

在半导体制造中，石英材料还用于光刻