芯片
603690 至纯科技--2板-----半导体设备
002549 凯美特气--2板-----工业气体+光刻胶
605588 冠石科技--2板-----光掩模版
001269 欧晶科技----------半导体材料+光伏

机器人
003028 振邦智能----------机器人
603166 福达股份----------机器人
603579 荣泰健康--3板-----机器人