光刻机概念涉及光刻机整机研发、光学器件、精密机械、光刻胶与材料等多个领域。
1、张江高科：
持有上海微电子装备约10.779%的股权，上海微电子是国内唯一具备90nm及以上光刻机整机研发能力的企业。
2、上海电气：
母公司为上海微电子第一大股东，参与光刻机产业链布局。
3、高盟新材，
公司通过参股北京科华微电子材料有限公司，间接参与了光刻机相关业务，持有其3.67%的股份。
4、福晶科技：
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