据消息称：中国自主研发的 EUV 机器采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术，不同于 ASML 采用的 LPP 方法，目前正在华为东莞工厂进行测试。试生产计划于2025 年第三季度进行，量产计划于 2026年进行。



从曝光的信息来看，EUV光刻物镜装调干涉仪是由浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室主导的，采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术，不同于ASML采用的 LPP 方法。网上