中国EUV固体光源技术获得重大突破，受益公司


转：2025年04月30日 08:31 上海
4月29日，中国科学院上海光机所林楠研究员带领团队，绕过二氧化碳激光，使用固体激光器技术成功开发出LPP-EUV光源，目前，林楠团队1um固体激光的能量转换效率CE最高可达到3.42%，理论最大转换效率可能接近6%，预计能够满足商用光源5.5%转化效率。

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EUV光刻机中最核心的子系统是激光