光刻机相关的研报：

Q：茂莱光学在光刻机领域的业务情况如何？

A：茂莱光学参与光学环节，具备整体光学系统设计能力，前端涉及光路，后续会往其他光学部件扩展。过往在量检测领域业务较多，半导体相关收入中量检测光学部件占比达六七十，随着光刻机需求增加，该比例可能降至一半。公司已具备I线设备或KrF相关能力，率先量产I线相关产品，后续会向更先进光学系统路径开发和配套。

Q：波长光电在光刻机领域的业务情