上海微电子近期在技术突破和上市进程方面有较多动态,具体如下:

- 技术突破方面:2025年5月,上海微电子成功交付首台28nm浸没式光刻机(SSA800/10i),采用ArFi技术,实现等效134nm分辨率,支持7nm及以上制程多重曝光工艺。2025年7月,有消息称其28nm的DUV光刻机实测良率冲到82%,固态光源技术大幅降低成本,同时22nm节点技术取得突破,封装光刻机性能对标全球顶尖水平