我国首台支持 lt;10nm线宽的半导体级步进式纳米压印光刻机于8月1日成功交付。这一事件利好光刻设备、纳米工艺、先进封装等相关产业链股票,以下是具体介绍:

- 光刻设备相关:芯源微、芯碁微装、北方华创等,它们有纳米压印光刻(NIL)或相关涂胶设备研发背景,有望受益于国产光刻机技术突破带来的设备需求增长。

- 纳米工艺材料:飞凯材料、容大感光、安集科技等,属于NIL工艺材料链,涉及感光材料