全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度达到0.6纳米、线宽8纳米，达到国际主流水平，标志着我国量子芯片研发获得关键性工具支撑，并填补了国内空白，构建起完整的国产替代链条。

“羲之”由浙江大学余杭量子研究院自主研发，采用100kV高能电子束直接在硅基材料上“手写”电路，无需传统掩膜版辅助。这一特性使其特别适用于量子芯片研发初期的设计验证阶段，能够灵活修改设计图案，显著提升研发效