国林科技:光刻机产业链最强分支——臭氧清洗设备
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国林科技:子公司国林半导体现有产品可以满足薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程的应用需求
同花顺( 300033 )金融研究中心07月07日讯,有投资者向国林科技( 300786 )提问, 贵司回应过没有自对准多重曝光的技术,这个本身就是芯片光刻制作的核心技术,公司不涉及是正常的。但自对准多重曝光技术需要进行多次清洗、多次沉积,从技术原理上,臭氧比其他传统湿化学品更加适合这种多
同花顺( 300033 )金融研究中心07月07日讯,有投资者向国林科技( 300786 )提问, 贵司回应过没有自对准多重曝光的技术,这个本身就是芯片光刻制作的核心技术,公司不涉及是正常的。但自对准多重曝光技术需要进行多次清洗、多次沉积,从技术原理上,臭氧比其他传统湿化学品更加适合这种多
