一、上游核心材料

· 光刻胶：彤程新材、南大光电、华懋科技、晶瑞电材、上海新阳
· 光刻气体：凯美特气
· 掩膜版：路维光电、清溢光电、冠石科技

二、光刻机关键零部件

· 光源系统：福晶科技、茂莱光学
· 光学元件：腾景科技、钜光科技、晶方科技
· 光学镜头：波长光电、奥普光电
· 精密结构件：富创精密、锐新科技、海立股份、新莱应材

三、配套设备与工艺支持

· 洁净室工程：美埃科技、亚翔