天科合达(SiC)衬底量产最新进展
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天科合达在碳化硅(SiC)衬底量产方面的最新进展,综合多维度信息整理而成:
️ 1. 8英寸SiC衬底量产与技术突破
小规模量产实现:2024年,天科合达完成8英寸导电型SiC衬底及外延片的小规模量产,衬底厚度优化至350μm,为高压器件(如车规级功率模块)降本提供核心支持。
关键技术指标全球领先:通过自主生长设备和工艺创新,攻克多型体缺陷、位错集群等行业难题,其8英寸外延片参数达国际先
️ 1. 8英寸SiC衬底量产与技术突破
小规模量产实现:2024年,天科合达完成8英寸导电型SiC衬底及外延片的小规模量产,衬底厚度优化至350μm,为高压器件(如车规级功率模块)降本提供核心支持。
关键技术指标全球领先:通过自主生长设备和工艺创新,攻克多型体缺陷、位错集群等行业难题,其8英寸外延片参数达国际先
