所有人注意了。光刻机正迎来政策+技术+需求的三重共振。其中很有可能会诞生下一个寒武纪。不开玩笑。首先是政策层面：近期，国家集成电路产业投资基金三期宣布调整战略方向，将重点支持光刻机与芯片设计软件等关键领域的技术突破。其次是技术层面：上海光机所LPP-EUV光源能量转换效率达3.42%，接近商用水平的一半；哈尔滨工业大学DPP-EUV原型机计划三季度试产；上海微电子成功实现DUV光刻机国产化，28n