1、光刻机概念：
（1）奥普光电（ 002338 ）：公司控股股东中科长春光机所承担EUV光刻机研发任务，已取得包括核心光源系统在内的多项突破，公司是旗下唯一上市企业。
（2）福晶科技（ 002222 ）：控股子公司福创光电开展衍射光学元件研究、生产，衍射光学元件是光刻机中一系列可动的镜片，主要用于产生光刻所需要的光源。
（3）凯美特气（ 002549 ）：公司生产芯片所需的超高纯气体和光刻气产品