1.波长光电：专注于光刻系统的 “眼睛”，其生产的反射镜、聚焦镜等光学元器件精度达到纳米级，平行光源已成功应用于接近式掩膜光刻场景，激光光源寿命突破 1 万小时，为光刻系统的光路控制提供了核心支撑。公司的定制化光学系统解决方案已覆盖直写光刻的照明和成像系统，成为国产光刻机光学部件的重要供应商。

2.汇成真空：攻克了光刻机的 “呼吸系统”，其真空腔体泄漏率低于百亿分之一，有望在国产光刻机中的渗透率