国内光K机零部件环节细分领域核心个股如下：

汇成真空（真空镀膜设备）；

芯源微（前道涂胶显影）；

南大光电、容大感光、徐州博康（光刻胶）；

华特气体、雅克科技（特种气体）；

清溢光电、菲利华、华润微、冠石科技、路维光电（光掩膜版）；
芯碁微装（掩膜版制造）；

检测设备
精测电子、中科飞测、东方晶源、
华辰装备、苏大维格等。