半导体制造包含数百道工序,可分为前道(晶圆制造)、后道(封装测试)两大阶段:

(1)前道工艺是在晶圆上构建电路结构,主要步骤:晶圆准备→薄膜沉积→光刻与显影→刻蚀→离子注入→抛光→晶圆测试。

(2)后道工艺是将晶圆切割并封装为芯片,主要步骤:晶圆减薄→晶圆切割→固晶贴装→引线键合→封装→终测。

晶圆测试

(1)目的:在晶圆切割前,测试每个裸芯片(Die)的电性能与功能,筛选出合格芯片。