光刻设备
光刻机是光刻设备的核心设备，近年全球AI产业快速发展推动晶圆厂扩产，带动光刻设备需求迅速攀升，同时受外部技术封锁，加速我国高端光刻机的国产化进程。
代表公司：苏大维格、凯美特气、海立股份、张江高科、芯源微、海目星、波光长电、旭光电子、蓝英装备、新莱应材、同飞股份、东方嘉盛等。

检测设备
检测设备是半导体制造过程中用于提升产品良率的关键工具，涵盖晶圆测试、封装测试及功能验证等核心环节，