①零部件：新莱应材、利和兴、富创精密、同惠电子、正帆科技、国林科技等。

②光刻机：茂莱光学、汇成真空、炬光科技、阿石创、福光股份等。

③前道设备：京仪装备、中科飞测、拓荆科技等。

④后道/3 D封装/检测：胜科纳米、赛腾股份、长川科技等。

⑤潜在整合标的：深振业 A、深纺织 A

⑥光刻机关键环节：奥普光电 冠石科技