以下是根据光刻机概念，挖掘出来的核心标的，分享出来给大家共同研究：

【苏大维格】一直致力于积极拓展激光直写光刻设备在半导体掩模制造领域的量产应用，公司收购的常州维普是国内极少数在半导体光掩模缺陷检测设备领域已实现规模化量产的企业，有利于增强公司在直写光刻领域的研发实力。$苏大维格(sz300331)$

【中船特气】的光刻气产品(Kr/Ne、Ar/Ne/Xe)通过GI­G­A­P­H­O­T­O