光刻机
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你说的生产光刻机的普林科技,指的是普林科技(杭州)。这家2017年成立的企业,专注于纳米压印光刻技术,是国内该领域的突破性企业,以下是其核心信息:
1. 核心产品与技术突破:2025年8月,其自主研发的首台PL - SR系列喷墨步进式纳米压印光刻系统完成交付。该设备线宽精度小于10纳米,超越佳能当时14纳米的水平,且有全自主软件控制系统,非真空环境下运行产能能提升3倍。
2. 技术优势与特点:采用紫外纳米压印技术,常温操作即可让特制胶水遇紫外线快速硬化,兼顾效率与精度;相比EUV光刻机,该设备用电量仅为前者的十分之一,还能使芯片制造成本降低40%,性价比优势显著。
3. 应用与行业地位:设备已在存储芯片、硅基微显示器等领域完成研发验证,可助力国内存储芯片企业摆脱外部设备依赖;它也让我国成为全球少数掌握半导体级纳米压印端到端能力的国家,打破了日本佳能在该领域的长期垄断。
4. 当前局限:目前层间对齐精度约50纳米,远不及EUV光刻机的1纳米水平,暂不适配复杂逻辑芯片;且单台产能也落后于EUV光刻机,生产线更换适配成本较高。
1. 核心产品与技术突破:2025年8月,其自主研发的首台PL - SR系列喷墨步进式纳米压印光刻系统完成交付。该设备线宽精度小于10纳米,超越佳能当时14纳米的水平,且有全自主软件控制系统,非真空环境下运行产能能提升3倍。
2. 技术优势与特点:采用紫外纳米压印技术,常温操作即可让特制胶水遇紫外线快速硬化,兼顾效率与精度;相比EUV光刻机,该设备用电量仅为前者的十分之一,还能使芯片制造成本降低40%,性价比优势显著。
3. 应用与行业地位:设备已在存储芯片、硅基微显示器等领域完成研发验证,可助力国内存储芯片企业摆脱外部设备依赖;它也让我国成为全球少数掌握半导体级纳米压印端到端能力的国家,打破了日本佳能在该领域的长期垄断。
4. 当前局限:目前层间对齐精度约50纳米,远不及EUV光刻机的1纳米水平,暂不适配复杂逻辑芯片;且单台产能也落后于EUV光刻机,生产线更换适配成本较高。
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