国产光刻胶领域再传突破喜讯。安集科技（ 688019 ）今日通过投资者互动平台确认，公司KrF光刻胶已正式通过长江存储128层3D NAND产线的批量验证并实现稳定供货，成为国内少数具备该品类量产能力的企业，打破了日本东京应化等海外厂商的垄断格局。

据了解，安集科技此次实现量产的KrF光刻胶分辨率达0.15μm，线宽粗糙度（LWR）控制在3nm以内，关键性能指标完全满足28nm先进制程及3D