南大光电2021年收购山东飞源气体后开始做六氟化钨，2023年启动的内蒙乌兰察布500吨项目已稳定投产。


含氟电子特气是应用于泛半导体领域（如集成电路、平板显示、太阳能薄膜等）的一种优良等离子蚀刻和清洗材料。公司氟类气体产品主要包括三氟化氮、六氟化硫等，其中三氟化氮广泛用于大规模集成电路、平板显示、太阳能薄膜的生产制造，六氟化硫广泛应用于输配电及控制设备行业，高纯六氟化硫可用于半导体材料的干