1、光刻机上游材料

光刻胶：彤程新材、南大光电、华懋科技、晶瑞电材、上海新阳等

2、光刻气：凯美特气

3、掩膜版：路维光电、清溢光电、龙图光罩

4、光刻机零部件

光源：福晶科技、茂莱光学
光学元件：腾景科技、钜光科技、晶方科技

光学镜头：波长光电、奥普光电

结构件：富创精密、锐新科技、海立股份、新莱应材

5、光刻机周围配套

洁净室：美埃科技、亚翔集成

清洗设备：蓝英装备、富乐德

涂胶、显影设备：芯源微

寄售维修：东方嘉盛

6、微电子概念：张江高科、海立股份、上海电气、电气风电等