$中泰股份(sz300435)$1. 核心设备供货（全球巨头）：国产唯一 SEMI S2认证的板翅式换热器，作为光刻气（氪/氙/氖/氦）分离精制核心部件，纯度可达99.9999%+，适配EUV光刻；已向台积电、三星、英特尔等电子气项目供应数十套，支撑光刻气纯化系统。
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2. 光刻气生产与供应：唐山精制氪氙项目（国内最大）、与韩国浦项制铁合资项目（PZAS），规模化供应高纯氪/氙，用于EUV光刻