一、光刻机:半导体工业的“卡脖子”核心

光刻机是半导体制造的关键设备,被称为“半导体皇冠上的明珠”。一台高端光刻机由十万个零件组成,全球仅 ASML 、尼康、佳能能造高端机型,而国内仅上海微电子能做前道光刻机,其90nm制程已量产,28nm沉浸式光刻机进入验证阶段,是成熟制程(汽车、家电芯片等)的核心节点。

二、全产业链突围:从整机到配套的“集团军作战”

产业链拆解为四大环节,逐个分析国产突