截至13:17，中证半导体材料设备主题指数（931743）涨1.16%，权重股中，中微公司涨0.5%，北方华创涨2.1%，沪硅产业跌1.3%，华海清科涨2.5%，南大光电涨0.9%。此外，拓荆科技涨7.1%，芯碁微装涨5.4%，万业企业涨4.8%，金宏气体涨4.6%，华峰测控涨3.4%。

半导体设备ETF易方达（159558）跟踪中证半导体材料设备主题指数，备受资金青睐，近10日资金净流入超3亿