招股书显示，中科仪成立于2001年，是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。[淘股吧]
中科仪的产品广泛支持国内主流晶圆厂，以及国内主流半导体设备厂，并已通过台积电、SK海力士、客户I的测试验证实现小批量出货。