1. 量检测/缺陷检测(最薄弱)

• 卡脖子点:电子束检测、光学量测、薄膜厚度/缺陷检测,100%海外垄断(应用材料、KLA、日立)

• 中科飞测( 688366 )

◦ 三维形貌量测、缺陷检测设备(存储先进制程)

◦ 2026Q1:营收2.8亿(+71%),净利0.75亿(+108%)

◦ 市占:国内量测5%,长江存储/认证突破

2. 离子注入(存储掺杂核心)

• 卡脖子点:高能/