股票名称 持仓占比 所属领域 较上期变动
富创精密 9.34% 半导体设备零部件 +0.33%
华海清科 9.22% 半导体设备（清洗/刻蚀） +0.22%
中微公司 9.06% 半导体设备（刻蚀/薄膜沉积） -0.17%
北方华创 9.03% 半导体设备（刻蚀/薄膜沉积/清洗） -0.03%
拓荆科技 8.90% 半导体设备（薄膜沉积） +0.12%
中科飞测 8.90% 半导体检测设备 +0.63%
芯源微 8.89% 半导体设备（涂胶显影） -0.25%
精测电子 8.87% 半导体检测/显示设备 -0.33%
京仪装备 7.59% 半导体设备（热处理/氧化扩散） -0.41%
盛美上海 6.30% 半导体设备（清洗/电镀） 新增