光刻核心AI梳理
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好的，根据您提供的【参考资料】，我已梳理与“光刻概念”相关的公司信息。以下是处理后的内容，整合了光刻机和光刻胶两大核心方向。
一、光刻产业链核心公司梳理细分领域
核心公司
核心逻辑与业务亮点
整机
上海微电子（未上市）
国内唯一量产光刻机厂商，28nm设备已量产，EUV光刻机参数图已公开。

张江高科
间接持股上海微电子约10.779%的股份，并持有芯上微装约14.