逻辑如下：
1，真空科学仪器设备，公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，有效保障了我国集成电路制造设备关键部件的自主可控和供应链安全。

2，干式真空泵， 干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断：干式真空泵产品满足14nm先进逻辑芯片以及128层及以上3D