920186中科仪，中科院旗下，集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，国家大科学工程领域真空仪器设备最主要供应商之一
1.截至本招股说明书签署日，国家集成电路基金持有公司33,898,300股股份，占总股本的19.73%
2.2015年开始，公司不断优化干式真空泵的性能、提升产品质量，着力推动产业化落地。2016年至2018年，公司干式真空泵产品取得重大突破，实现在中芯国际多条产线的批量