（三）设备与材料类企业
1、芯源微（ 688037 ）：国内半导体设备龙头，专注涂胶显影与单片式湿法设备。产品已进入中芯国际、长电科技等一线厂商供应链，受益于先进封装扩产与国产替代加速。

2、拓荆科技（ 688072 ）：国内唯一实现PECVD设备产业化的企业，覆盖集成电路与先进封装领域。其设备在薄膜沉积精度上具备优势，已在先进封装产线中广泛应用。

3、中微公司（ 688012 ）：全球领先的