电子特种气体供不应求 完整产业链梳理
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一、核心利好板块(优先级排序)
1. 高端含氟电子特气(最强主线)
六氟化钨、三氟化氮、六氟丁二烯,AI/HBM存储、先进制程刻蚀/镀膜刚需,晶圆厂零库存、订单满载,国产替代空间最大。
2. 光刻混合气/稀有特种气体
适配800G/1.6T光模块、先进光刻设备,国内认证壁垒高,全球供给紧缺。
3. 氢化物掺杂特气(磷烷、砷烷)
