参股矽行半导体+收购德国MueTec，自研TB系列明场晶圆缺陷检测设备，适配14–65nm成熟制程，用于晶圆尺寸量测、微观缺陷筛查，已送样中芯、华虹验证；国内少数突破前道晶圆检测的厂商。