一、光刻机产业链概念股（整机+核心零部件）

国内前道光刻机整机核心主体上海微电子（SMEE）未上市，A股标的均为参股股东、光学/光源/工件台等核心零部件配套企业：
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1. 整机参股核心标的

1. 张江高科 600895 ：A股最核心参股上海微电子标的，持股约10.78%，是光刻机整机估值重估核心载体。

2. 光刻机光学系统（物镜、镜片，成本占比最高）

1. 茂莱光学