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ArF光刻胶、EUV光刻胶,新订单一律不接。KrF光刻胶,新增订单大幅压缩。更狠的是,所有驻场工程师全部撤走,售后、调试、配方适配,统统中断。
全球光刻胶市场长期处于寡头垄断格局,日本JSR、东京应化、信越化学、富士胶片四家企业占据全球超90%高端光刻胶产能,其中ArF、EUV高端光刻胶国产化率长期不足5%。在最先进的EUV光刻胶市场上,东京应化、信越化学、JSR、住友化学则占据了几乎全部的市场份额。
1、彤程新材( 603650 ):构建了“KrF+ArF+EUV”的全谱系光刻胶布局,EUV前驱体材料成功进入 ASML 供应链,是国内少数切入极紫外光刻领域的企业。
2、雅克科技( 002409 ):其EUV前驱体材料已量产,通过ASML二级供应商认证,间接供应台积电,同时布局半导体光刻胶上游相关材料。
3、南大光电( 300346 ):实现了国内ArF光刻胶从零到一的重大突破,国内唯一实现28nm ArF干法光刻胶规模化量产的企业,国内唯一实现ArF光刻胶量产的企业,在高端光刻胶领域技术积累深厚,同步开展EUV相关前沿技术研发。
4、华懋科技( 603306 ):持股徐州博康23.99%,徐州博康开发出差不多百款ArFKrFG线I线的全品类产品,客户基本覆盖了国内80多家芯片制造商。KrF和ArF光刻胶产品也已经成功获得了国内头部晶圆厂的订单。同步跟进EUV相关材料的研发进度。
5、鼎龙股份( 300054 ):高端KrF/ArF光刻胶已实现批量订单,建成国内首条全流程高端晶圆光刻胶量产线,依托现有技术基础推进EUV光刻胶相关技术储备。