国产替代--电子级砷烷(AsH₃)、磷烷(PH₃)
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正帆科技分析:$正帆科技(sh688596)$
产业链映射【1. 主题定义与驱动来源】电子级砷烷和磷烷是半导体制造中用于 N型掺杂 的核心氢化物类电子特种气体,广泛应用于离子注入、化学气相沉积(CVD)、外延生长(Epitaxy)、MOCVD、多晶硅扩散等工艺环节。
核心驱动因素:
AI算力需求爆发 → 逻辑芯片(14nm及以下先进制程)、3D NAND堆叠层数攀升、存储芯片扩产 → 掺
产业链映射【1. 主题定义与驱动来源】电子级砷烷和磷烷是半导体制造中用于 N型掺杂 的核心氢化物类电子特种气体,广泛应用于离子注入、化学气相沉积(CVD)、外延生长(Epitaxy)、MOCVD、多晶硅扩散等工艺环节。
核心驱动因素:
AI算力需求爆发 → 逻辑芯片(14nm及以下先进制程)、3D NAND堆叠层数攀升、存储芯片扩产 → 掺
