一、按设备环节分类

1. 前道核心工艺设备（晶圆制造主设备）

细分领域 企业名称 股票代码 核心地位
沉积设备 北方华创 002371 PVD设备市占率第一，平台型龙头
沉积设备 拓荆科技 688072 CVD设备市占率第一，薄膜沉积国产替代核心
沉积设备 微导纳米 688147 ALD镀膜设备市占率第一
沉积设备 先锋精科 未上市（注：A股暂无对应代码） 刻蚀与薄膜沉积设备关键工艺部件供应商
刻蚀设备 北方华创 002371 ICP刻蚀设备市占率第一
刻蚀设备 中微公司 688012 CCP刻蚀设备市占率第一，先进制程刻蚀全球领先
清洗设备 盛美上海 688082 半导体清洗设备市占率第一
清洗设备 屹唐股份 干法去胶设备市占率全球第二
清洗设备 至纯科技 603690 高纯工艺系统市占率第一
清洗设备 新莱应材 300260 半导体洁净组件市占率第一
清洗设备 富乐德 301297 精密洗净服务领先
抛光设备 华海清科 688120 CMP设备市占率第一
离子注入设备 万业企业 600641 离子注入设备龙头
涂胶显影设备 芯源微 688037 涂胶显影设备市占率第一
单晶硅炉 晶盛机电 300316 单晶硅炉市占率A股第一
单晶硅炉 晶升股份 688478 半导体级单晶硅炉市占率A股第二

2. 检测/测试/封装设备（良率与后道保障）

细分领域 企业名称 股票代码 核心地位
检测设备 精测电子 300567 膜厚/OCD量测、电子束量测设备国内领先
检测设备 中科飞测 688361 晶圆缺陷检测设备龙头
检测设备 赛腾股份 603283 晶圆外观缺陷检测设备龙头
检测设备 埃科光电 未上市（注：A股暂无对应代码） 检测设备用工业相机供应商
检测设备 骄成超声 688392 超声波扫描显微镜设备领先
封装设备 新益昌 688383 固晶机设备龙头，封装设备营收规模A股第一
封装设备 耐科装备 688419 全自动塑料封装设备领先
测试设备 长川科技 300604 半导体测试设备营收规模A股第一
测试设备 华峰测控 688200 模拟芯片测试系统市占率领先
测试设备 矽电股份 301629 晶圆探针台市占率A股第一
测试设备 金海通 603061 测试分选机龙头
测试设备 联动科技 301369 分立器件测试系统市占率第一
测试设备 和林微纳 688661 测试探针设备打破国外垄断
测试设备 强一股份 688809 探针卡市占率超94%
测试设备 胜科纳米 688757 第三方检测分析服务龙头

3. 其他核心设备与零部件（上游配套）

细分领域 企业名称 股票代码 核心地位
温控设备 京仪装备 688652 半导体专用温控设备市占率第一
直写光刻 芯碁微装 688630 直写光刻设备市占率第一
划片设备 光力科技 300480 半导体划片机市占率第一
射频电源 恒运昌 未上市（注：A股暂无对应代码） 等离子体射频电源市占率第一
结构件 富创精密 688409 半导体设备精密结构件核心供应商
特种气体输送 正帆科技 688596 特种气体输送与工艺系统龙头
结构件 华亚智能 003043 半导体设备精密结构件核心供应商

 

二、按技术壁垒与国产替代进度分类

 高壁垒（国产替代攻坚期，突破难度大）

- 代表设备：离子注入、量测检测、高端涂胶显影、EUV/DUV光刻机（国内暂无对应龙头）
- 标的：万业企业(600641)、中科飞测(688361)、精测电子(300567)、芯源微(688037)
- 特点：海外垄断度高，国产化率低（5%-15%），但突破后价值极大，是国产替代的“硬骨头”。

 中壁垒（国产替代加速期，已获产线验证）

- 代表设备：刻蚀、沉积、清洗、CMP抛光
- 标的：北方华创(002371)、中微公司(688012)、拓荆科技(688072)、盛美上海(688082)、华海清科(688120)
- 特点：部分环节已实现市占率领先，成熟制程设备渗透率持续提升，是当前设备板块的“主力军”。

 低壁垒（国产替代成熟期，市占率已领先）

- 代表设备：单晶炉、封装/测试设备、洁净组件、结构件
- 标的：晶盛机电(300316)、新益昌(688383)、长川科技(300604)、新莱应材(300260)、富创精密(688409)
- 特点：国产化率较高（部分已超50%），技术成熟度高，是国产替代的“基本盘”。

 

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002371 北方华创
688012 中微公司
688072 拓荆科技
688147 微导纳米
300567 精测电子
688361 中科飞测
603283 赛腾股份
688392 骄成超声
688082 盛美上海
603690 至纯科技
300260 新莱应材
301297 富乐德
688120 华海清科
600641 万业企业
688037 芯源微
300316 晶盛机电
688478 晶升股份
688383 新益昌
688419 耐科装备
300604 长川科技
688200 华峰测控
301629 矽电股份
603061 金海通
301369 联动科技
688661 和林微纳
688809 强一股份
688757 胜科纳米
688652 京仪装备
688630 芯碁微装
300480 光力科技
688409 富创精密
688596 正帆科技
003043 华亚智能