1. 阶段1：建设洁净室（厂房基建阶段，行情已经兑现大涨）





晶圆厂投产第一步必须建成ISO1‑ISO7级超高洁净厂房，EPC总包、FFU风机过滤单元、高纯管路、AMC污染控制；这一轮最先爆发。





2. 阶段2：采购半导体设备（当下正在持续上涨，国产替代核心，国产化率仅15‑30%）





刻蚀、薄膜沉积、清洗、CMP、涂胶显影、离子注入、量测设备，设备采购紧随厂房建成，未来3‑5年持续放量。





3. 阶段3：耗材材料（目前处于初期布局阶段，未来长期反复复购，长期赛道，后期爆发力最强）





晶圆每运行一轮就要消耗光刻胶、抛光液、靶材、电子特气、硅片、高纯试剂，设备是一次性采购，耗材是持续循环消耗，后期业绩持续性最强，现在布局时机最好。





 





严格筛选范围：只保留 科创板（688）、创业板（300）、北交所920开头标的，剔除沪市主板600、深市主板002股票，每个细分只给唯一核心龙头。





⚠️ 提示：内容仅为行业客观资料梳理，不构成投资建议。





 





第一阶段：洁净室环节（科创板、创业板、北交所920龙头）





 





细分1：FFU风机过滤单元（洁净室核心设备）





 





1. 科创板：美埃科技（ 688376 ）【绝对龙头】





国内半导体FFU市占率第一，适配中芯国际、长江存储、长鑫存储，高端ULPA过滤器打破海外垄断，设备+滤材耗材双向受益，后期滤材可以持续复购。





 





细分2：超高纯洁净管路、阀门（高纯流体输送）





 





1. 创业板：新莱应材（ 300260 ）龙头





半导体高纯不锈钢管道、PFA阀门国产龙头，洁净室流体管路核心供应商，进入中芯、长江存储产线。





 





细分3：洁净室配套零部件、环境监测（北交所920）





 





1. 北交所：中科仪（920186）真空设备龙头





半导体真空干泵，洁净室和晶圆设备必备真空部件，国产真空设备北交所唯一核心标的，给刻蚀、沉积设备配套。





 





补充说明：洁净室EPC工程总包龙头太极实业、柏诚股份、亚翔集成都是600主板，不在你限定的300/688/920范围内，因此排除。





 





第二阶段：半导体设备（现在持续上涨阶段；688科创板为主、少量创业板、北交所920）





 





1）刻蚀设备（前道设备价值占比最高）





 





- 科创板：中微公司（ 688012 ）刻蚀龙头





5‑7nm先进制程刻蚀设备进入台积电、长江存储；3D‑NAND刻蚀国内市占第一；国产刻蚀设备里技术天花板。





 





2）薄膜沉积设备（PECVD / ALD）





 





- 科创板：拓荆科技（ 688072 ）龙头





国内唯一12英寸PECVD量产企业，长江存储、长鑫存储第一大供应商，ALD原子层沉积适配7nm以下先进制程、HBM算力芯片。





 





3）单片式清洗设备（每道工序都要清洗，刚需）





 





- 科创板：盛美上海（ 688082 ）清洗设备龙头





国产单片式湿法清洗龙头，兆声波清洗技术领先，28nm‑5nm产品全部验证通过，长江存储核心供货商。





 





4）CMP化学机械抛光设备





 





- 科创板：华海清科（ 688120 ）龙头





国内唯一实现CMP整机量产企业，打破美国应用材料垄断，中芯国际、长江存储核心供应商，适配HBM存储芯片抛光需求。





 





5）涂胶显影设备（光刻配套设备）





 





- 科创板：芯源微（ 688037 ）龙头





国内前道涂胶显影唯一量产企业，前道ArF设备进入中芯国际，先进封装涂胶显影国内市占70%以上。





 





6）测试设备（后道设备）





 





- 创业板：长川科技（ 300604 ）测试设备龙头





创业板唯一半导体测试设备平台，存储芯片、功率半导体测试机国产龙头，深度绑定长鑫存储。





 





7）设备精密零部件（北交所920）





 





北交所除中科仪（920186）之外，920板块半导体整机设备标的较少，北交所更多以零部件配套企业为主。





 





第三阶段：半导体耗材材料（现在处于初期布局阶段，长期复购赛道，重点布局板块）





 





细分1：大硅片（芯片基底，耗材里面体量最大）





 





- 科创板：沪硅产业（ 688126 ）龙头





国内唯一大规模量产12英寸硅片、外延片、SOI硅片企业，AI‑HBM爆发带动12英寸硅片需求暴涨，国产替代空间巨大。





 





细分2：光刻胶（国产替代难度最高，卡脖子核心）





 





- 创业板：南大光电（ 300346 ）龙头





国内唯一实现28nm ArF干式光刻胶规模化量产企业，同时布局MO源电子特气，光刻胶+特气双线成长，创业板材料核心标杆。





 





细分3：CMP抛光液（晶圆抛光耗材，高频消耗品）





 





- 科创板：安集科技（ 688019 ）龙头





国内抛光液绝对龙头，14‑7nm高端抛光液实现量产，国内市占率60%以上；晶圆每完成一次制程就会消耗抛光液，复购属性极强。





 





细分4：高纯溅射靶材（金属布线耗材）





 





- 创业板：江丰电子（ 300666 ）靶材龙头





国内唯一打入台积电3‑7nm先进制程的超高纯钨、铝、铜靶材厂商，同时供货中芯国际、长江存储，先进制程刚需耗材。





 





细分5：电子特气（晶圆制造消耗占比13%，持续消耗）





 





- 科创板：中船特气（ 688146 ）特气龙头





国内综合电子特气龙头，砷烷、磷烷、氟气、高纯氨气实现国产替代，进入中芯国际、长江存储、长鑫供应链。





 





细分6：光刻配套高纯材料（光阻配套试剂）





 





- 科创板：恒坤新材（ 688727 ）光刻配套材料龙头





光刻胶配套的显影液、剥离液，KrF/ArF配套材料批量供货，光刻胶上游核心耗材。





 





细分7：北交所920‑材料类龙头（920开头）





 





1. 硅烷科技（920310）：高纯硅烷气体龙头





半导体硅烷、氨气国产替代，给沪硅产业、中环硅片供货，北交所电子特气核心标的。





 





 





 





精简总结（分阶段对应你的布局思路）





 





1. 阶段1洁净室（行情已经兑现，尽量不追高）





科创板：美埃科技688376；创业板：新莱应材300260；北交所：中科仪920186。





2. 阶段2半导体设备（当下持续上涨，可以重点跟踪）





科创板：中微公司、拓荆科技、盛美上海、华海清科、芯源微；创业板：长川科技300604。





3. 阶段3半导体耗材材料（现在布局最佳，未来反复复购，长期核心赛道）【你接下来重点布局方向】





- 科创板：沪硅产业688126、安集科技688019、中船特气688146；





- 创业板：南大光电300346、江丰电子300666；





- 北交所：硅烷科技920310。





 





实战选股建议





 





1. 科创板688标的：可以结合15分钟MACD分时做T降低持仓成本；





2. 创业板300：波动适中，适合中长线底仓+日内做T；





3. 北交所920开头：日内波动极大，只适合底仓持有，新手尽量不要做反T，只做正T；





4. 优先级排序：耗材材料＞半导体设备＞洁净室；耗材赛道后期业绩确定性最强，完全匹配晶圆厂投产之后长期复购逻辑。